Trocknungsvorrichtung für eine Halbleiterscheibe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4576179

Aktenzeichen

EP23217883

Anmeldetag

19. Dezember 2023

Veröffentlichung

25. Juni 2025

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/67

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Trocknungsvorrichtung, welche dazu ausgebildet ist, wenigstens eine darin an einer Trägereinheit (10) temporär angeordnete, benetzte Halbleiterscheibe (200) während wenigstens eines Trocknungsprozesses zu trocknen, wobei die Trocknungsvorrichtung (100) eine Trocknungshaubeneinheit (110) umfasst. Die Trocknungshaubeneinheit (110) umfasst wenigstens ein transparentes Scheibenelement (111, 112, 113), welches dazu ausgebildet ist und derart an der Trocknungshaubeneinheit (110) angeordnet ist, dass es in einem geschlossenen Zustand der Trocknungshaubeneinheit (110) von außerhalb der Trocknungsvorrichtung (100) über das wenigstens eine transparente Scheibenelement (111, 112, 113), über den gesamten wenigstens einen Trocknungsprozess betrachtet, eine im Wesentlichen uneingeschränkte optische Einsicht im Wesentlichen auf die gesamte Oberfläche der angeordneten Halbleiterscheibe (200), insbesondere für wenigstens einen Bediener, bereitstellt.

Anmelder

Firma

Siltronic AG

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete