Ferroelektrische Speicheranordnung und Verfahren zu Ihrer Herstellung

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP4576980

Aktenzeichen

EP24222244

Anmeldetag

20. Dezember 2024

Veröffentlichung

24. Dezember 2025

Rechtsraum

EP

IPC

H10B53/30// H10B51/30

Abstract

L'invention concerne un procédé de fabrication d'un dispositif (1) de stockage ferroélectrique comprenant : - dépôt d'une première couche (2), - dépôt d'une première couche de matériau ferroélectrique, - dépôt d'une couche intermédiaire sur la première couche de matériau ferroélectrique, - retrait d'une première partie de la couche intermédiaire de sorte à exposer une partie (6A) de la première couche de matériau ferroélectrique, - dépôt d'une deuxième couche de matériau ferroélectrique sur la couche intermédiaire et sur la partie exposée de la première couche de matériau ferroélectrique, - retrait d'une deuxième partie de la couche intermédiaire de manière à former une couche de matériau ferroélectrique (5) comprenant une première partie (5A) de première épaisseur (e<1>) et une deuxième partie (6) de deuxième épaisseur (e<2>), les première et deuxième épaisseurs étant distinctes, - dépôt d'une deuxième couche (7), la couche de matériau ferroélectrique s'étendant entre la première couche et la deuxième couche.

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete