Beschichtungsverfahren zur Abscheidung eines Schichtsystems auf einem Substrat, sowie ein Substrat mit einem Schichtsystem

EP4577681 Art A1 2. Juli 2025

Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4577681
Aktenzeichen
EP23761803
Anmeldetag
22. August 2023
Veröffentlichung
2. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/06C23C14/34C23C14/35H01J37/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
Land
🇨🇭 Schweiz
🇨🇭 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon

Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon ist eine Schweizer Gesellschaft der Oerlikon-Gruppe für Oberflächen- und Beschichtungstechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Werkzeugtechnik. Die Titel betreffen unter anderem Arc-Beschichtungsquellen und hochleistungsbeschichtete Werkzeuge.

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