Kammerinterne Metrologie von Substraten zur Prozesscharakterisierung und -Verbesserung

EP4578039 Art A1 2. Juli 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4578039
Aktenzeichen: EP23858052
Anmeldetag: 23. August 2023
Veröffentlichung: 2. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/677H01L21/68G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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