Retikelbehälter mit Halterung durch Grundplatte

EP4579721 Art A3 10. Dezember 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4579721
Aktenzeichen
EP25160889
Anmeldetag
9. Dezember 2020
Veröffentlichung
10. Dezember 2025
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F1/66H01L21/673
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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