Vorrichtung und System zur Abgabe eines Flüssigkeitsstroms und Vorrichtung und Verfahren zur Nicht-Immersiven Nasschemischen Behandlung eines Planaren Substrats

EP4580817 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4580817
Aktenzeichen: EP23761862
Anmeldetag: 24. August 2023
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B05C3/12B05C3/18B05C9/04C23C18/16H05K3/22B05B1/20B08B3/00B05C5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Atotech Deutschland GmbH & Co. KG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Atotech Deutschland

Atotech Deutschland ist ein deutscher Anbieter von Oberflächenveredelungschemie, unter anderem für die Elektronik- und Halbleiterindustrie, und gehört zum US-Konzern MKS Instruments. Das Patentportfolio konzentriert sich deutlich auf Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt durch Elektronik und Halbleitertechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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