Vakuumsubstrathalter mit Optimierter Vakuumdichtung
EP4581668
Art A1
9. Juli 2025
Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH 🇦🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4581668
- Aktenzeichen
- EP22770020
- Anmeldetag
- 2. September 2022
- Veröffentlichung
- 9. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/683H01L21/687H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- EV Group E. Thallner GmbH
- Land
- 🇦🇹 Österreich
Fachgebiete
Vertreten von
Kaldewey, Tim Merlin
Ratingen, Deutschland
14
Patente gesamt
11
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte