Halbleiterprozessüberwachungsvorrichtung und Halbleiterprozessüberwachungsverfahren

EP4583150 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4583150
Aktenzeichen: EP23900260
Anmeldetag: 1. September 2023
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065G01N21/27G01N21/3504H04N25/57H04N25/71H04N25/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hamamatsu Photonics K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation

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