Steuerung von Ätzwinkeln durch Substratdrehung in Abgewinkelten Ätzwerkzeugen

EP4583151 Art A1 9. Juli 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4583151
Aktenzeichen: EP25160898
Anmeldetag: 17. April 2019
Veröffentlichung: 9. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065H01L21/311H01L21/3213H01L21/67G02B5/18G02B27/01

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

6.825 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von