Verfahren zur Identifizierung der Ursache von Verunreinigungen von Scheiben aus Halbleitermaterial
EP4586307
Art A1
16. Juli 2025
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4586307
- Aktenzeichen
- EP24150886
- Anmeldetag
- 9. Januar 2024
- Veröffentlichung
- 16. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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