Verfahren zur Abscheidung Quantisierter Nanoschichten durch Magnetronsputtern

EP4587606 Art A1 23. Juli 2025

Anmelder: Evatec AG 🇨🇭

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4587606
Aktenzeichen
EP23757632
Anmeldetag
17. August 2023
Veröffentlichung
23. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/00C23C14/35C23C14/50C23C28/04H01J37/34C23C14/08C23C14/10C23C14/34C23C14/56G02B1/11G02B5/08G02B5/28G02B5/30C23C14/18C23C14/58
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Evatec AG
Land
🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Mantel, Berthold Friedrich Stuttgart, Deutschland
145
Patente gesamt
10
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Heiz-, Kühl- & Beleuchtungstechnik Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik
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