Rückseitige Ablagerung zur Waferbogenverwaltung

EP4587610 Art A1 23. Juli 2025

Anmelder: Applied Materials Inc; 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4587610
Aktenzeichen: EP23866032
Anmeldetag: 16. August 2023
Veröffentlichung: 23. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/455C23C16/44C23C16/458C23C16/509C23C16/04H01L21/687H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials Inc;
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von