Herstellungsverfahren für Leitfähigen Film, Herstellungsverfahren für Maske, Herstellungsverfahren für Halbleiterbauelement, Defektuntersuchungsverfahren für Leitfähigen Film und Defektuntersuchungsvorrichtung

EP4588657 Art A1 23. Juli 2025

Anmelder: Mitsubishi Chemical Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4588657
Aktenzeichen: EP23865592
Anmeldetag: 14. September 2023
Veröffentlichung: 23. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B32B27/00G03F1/72G03F7/20G01N21/95H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Chemical Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Das Unternehmen entwickelt Grund- und Spezialchemikalien, Kunststoffe, Materialien für Elektronik und Energiespeicher sowie Pharma- und Life-Science-Produkte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von