Optische Vorrichtung, Optische Bearbeitungsvorrichtung, Mikroskopvorrichtung und Abtastverfahren

EP4589357 Art A1 23. Juli 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4589357
Aktenzeichen: EP23865586
Anmeldetag: 14. September 2023
Veröffentlichung: 23. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G02B21/06B23K26/082G02B26/10G02F1/365H01S3/067H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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