Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung, Röntgenstrahlbildgebungsvorrichtung und Verfahren zur Anpassung der Röntgenstrahlerzeugungsvorrichtung

EP4589628 Art A1 23. Juli 2025

Anmelder: Canon Anelva Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4589628
Aktenzeichen
EP22958307
Anmeldetag
15. September 2022
Veröffentlichung
23. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J35/30H01J35/14H05G1/52// H05G1/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Canon Anelva Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

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