Vorrichtung und Verfahren zur Einstellung der Zentrierung eines Wafers
EP4589644
Art A1
23. Juli 2025
Anmelder: ACM Research (Shanghai), Inc. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4589644
- Aktenzeichen
- EP23864490
- Anmeldetag
- 26. Juli 2023
- Veröffentlichung
- 23. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ACM Research (Shanghai), Inc.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
ACM Research (Shanghai)
ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.
260 Patente in unserer Datenbank