Perimeterrahmen zum Abstandhalten von Retikelbehältern

EP4590606 Art A1 30. Juli 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4590606
Aktenzeichen
EP23868892
Anmeldetag
20. September 2023
Veröffentlichung
30. Juli 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B65D85/48B65D53/02H01L21/673G03F1/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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