Substratbehältersysteme und Verfahren zum Spülen eines Substratbehälters
EP4591344
Art A1
30. Juli 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4591344
- Aktenzeichen
- EP23868882
- Anmeldetag
- 19. September 2023
- Veröffentlichung
- 30. Juli 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/673H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar