Verfahren, Systeme, Computerprogramme und Computerlesbare Medien zum Automatischen Entwurf eines Arbeitsablaufs zur Durchführung einer Halbleiterinspektionsaufgabe

EP4592914 Art A1 30. Juli 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4592914
Aktenzeichen: EP24209356
Anmeldetag: 29. Oktober 2024
Veröffentlichung: 30. Juli 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06N20/00G06Q10/0633

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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