Guanidinium Basierte Polyionische Flüssigkeiten und Ihre Verwendung als Additive in Chemisch-Mechanischen Planarisierungsschlämmen

EP4594372 Art A1 6. August 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4594372
Aktenzeichen
EP23873730
Anmeldetag
30. August 2023
Veröffentlichung
6. August 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C08F12/28C08F20/60C08F26/06C09G1/02B24B37/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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