Kühlvorrichtung zum Kühlen einer Positionssensitiven Komponente einer Lithographieanlage

EP4594823 Art A1 6. August 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH, ASML Netherlands B.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4594823
Aktenzeichen: EP23758333
Anmeldetag: 22. August 2023
Veröffentlichung: 6. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B7/18G02B27/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT GmbH
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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