Drahtlose Datenkommunikation in einer Plasmaprozesskammer durch einen Vi-Sensor und Hf-Generator

EP4595097 Art A1 6. August 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4595097
Aktenzeichen: EP23873427
Anmeldetag: 30. August 2023
Veröffentlichung: 6. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67H01L21/683H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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