Verwendung einer Zusammensetzung und Verfahren zum Selektiven Ätzen von Silizium

EP4599020 Art A1 13. August 2025

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4599020
Aktenzeichen: EP23793585
Anmeldetag: 2. Oktober 2023
Veröffentlichung: 13. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C09K13/08H01L21/3213C09K13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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