Vorrichtung und Verfahren zum Trocknen von Scheibenförmigen Substraten
EP4600996
Art A1
13. August 2025
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4600996
- Aktenzeichen
- EP24155973
- Anmeldetag
- 6. Februar 2024
- Veröffentlichung
- 13. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
281 Patente in unserer Datenbank