Verfahren und Systeme für eine Spektralbibliothek in einem Herstellungssystem

EP4602646 Art A1 20. August 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4602646
Aktenzeichen: EP23878247
Anmeldetag: 12. Oktober 2023
Veröffentlichung: 20. August 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/67G05B19/418G05B13/04G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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