Trocknungsvorrichtung und Verfahren zum Trocknen eines Substrats unter Verwendung eines Überkritischen Fluids
EP4603778
Art A1
20. August 2025
Anmelder: ACM Research (Shanghai) Inc. 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4603778
- Aktenzeichen
- EP23876422
- Anmeldetag
- 8. September 2023
- Veröffentlichung
- 20. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F26B5/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ACM Research (Shanghai) Inc.
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
ACM Research (Shanghai)
ACM Research (Shanghai) ist die chinesische Tochtergesellschaft des US-notierten Halbleiterausrüsters ACM Research mit Sitz in Shanghai, der Reinigungs- und Beschichtungsanlagen für die Chipfertigung herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Verfahrenstechnik. Die Anmeldungen decken den Zeitraum von 2007 bis 2025 ab.
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