Systeme und Verfahren zur Verbesserten Laserherstellung

EP4605165 Art A1 27. August 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4605165
Aktenzeichen
EP23809784
Anmeldetag
20. Oktober 2023
Veröffentlichung
27. August 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B22F10/28B22F10/85B22F12/43B29C64/273B22F10/366B22F12/49B33Y10/00B33Y30/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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