Beschichtete Substratträgeranordnung zur Substratverarbeitung in Verarbeitungskammern

EP4609007 Art A1 3. September 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4609007
Aktenzeichen: EP23883276
Anmeldetag: 13. Juli 2023
Veröffentlichung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/02C23C18/32C23C16/40C23C16/30C23C16/455C23C16/458C23C28/00C23C28/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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