Mikrowellenplasmareaktor mit mehreren Emittern und Absorbern und Verfahren zur Plasmaverarbeitung eines Werkstücks mit Solch einem Mikrowellenplasmareaktor
EP4609416
Art A1
3. September 2025
Anmelder: Evatec AG 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4609416
- Aktenzeichen
- EP23786610
- Anmeldetag
- 13. Oktober 2023
- Veröffentlichung
- 3. September 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Evatec AG
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
Fachgebiete
Vertreten von
Mantel, Berthold Friedrich
Stuttgart, Deutschland
145
Patente gesamt
10
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte