Ätzverfahren mit Alternierenden Nichtplasma- und Plasmaätzprozessen

EP4609422 Art A1 3. September 2025

Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4609422
Aktenzeichen: EP23883443
Anmeldetag: 26. Oktober 2023
Veröffentlichung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von