In-Situ-Reflektometrie für Echtzeit-Prozesssteuerung

EP4609423 Art A1 3. September 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4609423
Aktenzeichen: EP23883334
Anmeldetag: 18. Oktober 2023
Veröffentlichung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66H01L21/67C30B25/16C23C16/52G01B11/06G01N21/84C23C16/458

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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