Substrathaltevorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung, Substrathalteverfahren, Substratverarbeitungsverfahren und Artikelherstellungsverfahren

EP4611030 Art A3 31. Dezember 2025

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4611030
Aktenzeichen: EP25160499
Anmeldetag: 27. Februar 2025
Veröffentlichung: 31. Dezember 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/683H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CANON KABUSHIKI KAISHA
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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