Verfahren zur Abscheidung von Gruppe-Iiia-Metallnitridfilmen

EP4616012 Art A1 17. September 2025

Anmelder: AGC Glass Europe 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4616012
Aktenzeichen: EP23798910
Anmeldetag: 26. Oktober 2023
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C14/02C23C14/06C23C14/08H01L21/00H01L31/00C23C14/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: AGC Glass Europe
Land: 🇧🇪 Belgien

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von