Verfahren zur Korrektur Lokaler Oberflächenerhebungen auf Spiegelnden Oberflächen

EP4616253 Art A1 17. September 2025

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4616253
Aktenzeichen: EP23789931
Anmeldetag: 12. Oktober 2023
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G02B5/08G21K1/06H01J37/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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