Bestimmung von Substrateigenschaften durch Virtuelle Substratmessung

EP4616320 Art A1 17. September 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4616320
Aktenzeichen: EP23889536
Anmeldetag: 3. November 2023
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06F30/367G06F30/398G06F3/04815H01L21/66G06F111/18G06F111/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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