Positionsmesssystem und Positionsmessverfahren

EP4617014 Art A1 17. September 2025

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4617014
Aktenzeichen: EP22965044
Anmeldetag: 7. November 2022
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B25J19/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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