Plasmaverarbeitungsvorrichtung, Stromversorgungssystem und Verfahren zur Steuerung der Quellenfrequenz

EP4618135 Art A1 17. September 2025

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4618135
Aktenzeichen: EP23894469
Anmeldetag: 13. November 2023
Veröffentlichung: 17. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205H01L21/3065H05H1/00H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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