Fefet-Vorrichtung, System und Verfahren zur Herstellung

EP4620035 Art A1 24. September 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4620035
Aktenzeichen: EP23821834
Anmeldetag: 10. November 2023
Veröffentlichung: 24. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/10H01L21/28H01L29/51H01L29/78H01L29/786H10B51/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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