Bestimmung einer Substratortungsschwelle auf Basis Optischer Eigenschaften
EP4623465
Art A1
1. Oktober 2025
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4623465
- Aktenzeichen
- EP23895310
- Anmeldetag
- 20. November 2023
- Veröffentlichung
- 1. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68H01L21/677B25J11/00B25J9/16G06N20/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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