Bestimmung einer Substratortungsschwelle auf Basis Optischer Eigenschaften

EP4623465 Art A1 1. Oktober 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4623465
Aktenzeichen
EP23895310
Anmeldetag
20. November 2023
Veröffentlichung
1. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/68H01L21/677B25J11/00B25J9/16G06N20/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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