Verfahren und Vorrichtung zur Reduzierung von Extremem Uv-Licht für Photolithographie

EP4625049 Art A1 1. Oktober 2025

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4625049
Aktenzeichen: EP25156381
Anmeldetag: 6. Februar 2025
Veröffentlichung: 1. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F7/00H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INTEL Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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