Verfahren und Systeme zur Entfernung von Wasserstoffperoxid aus einem Gas

EP4626580 Art A1 8. Oktober 2025

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4626580
Aktenzeichen
EP23899026
Anmeldetag
1. Dezember 2023
Veröffentlichung
8. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B01D53/02A61L2/20A61L2/22A61L101/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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