Verfahren und Systeme zur Entfernung von Wasserstoffperoxid aus einem Gas
EP4626580
Art A1
8. Oktober 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4626580
- Aktenzeichen
- EP23899026
- Anmeldetag
- 1. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 8. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D53/02A61L2/20A61L2/22A61L101/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar