Anpassung der Kammerleistung durch Konstante Aktualisierungen einer Vorrichtung

EP4627489 Art A1 8. Oktober 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4627489
Aktenzeichen: EP23898582
Anmeldetag: 20. November 2023
Veröffentlichung: 8. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G06N20/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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