Verfahren und Vorrichtung zum Abscheiden von Sic-Schichten auf einem Substrat
EP4630600
Art A1
15. Oktober 2025
Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4630600
- Aktenzeichen
- EP23820839
- Anmeldetag
- 6. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 15. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/32C23C16/455C23C16/458C30B25/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Aixtron SE
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Kanzlei
Rieder & Partner mbB
Wuppertal, Deutschland
Die Wuppertaler Kanzlei geht auf Johannes Rieder zurück, der schon vor dem ersten deutschen Patentanwaltsgesetz von 1900 als Berater für Erfinder tätig war. Mit über hundertjähriger Kontinuität am Standort zählt sie zu den traditionsreichsten Patentanwaltspraxen im Bergischen Land.
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