Induktiv Gekoppelte Plasmalichtquelle mit Direkter Gasinjektion

EP4631090 Art A1 15. Oktober 2025

Anmelder: Hamamatsu Photonics K.K., Energetiq Technology, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4631090
Aktenzeichen: EP23901329
Anmeldetag: 28. November 2023
Veröffentlichung: 15. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Hamamatsu Photonics K.K.
Energetiq Technology, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hamamatsu Photonics

Japanisches Unternehmen für Photonik mit Sitz in Hamamatsu, spezialisiert auf Photodetektoren, Bildsensoren, Laser und optische Messtechnik für Wissenschaft und Industrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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