Anordnung und Verfahren zum Transport Mikromechanischer Bauelemente

EP4631909 Art A1 15. Oktober 2025

Anmelder: Technische Universität Ilmenau 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4631909
Aktenzeichen
EP24169579
Anmeldetag
11. April 2024
Veröffentlichung
15. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
B81C99/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technische Universität Ilmenau
Land
🇩🇪 Deutschland

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