Dikationisches Polymer und Copolymer und Ihre Verwendung zum Chemisch-Mechanischen Planarisieren

EP4634243 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP4634243
Aktenzeichen
EP23904281
Anmeldetag
30. November 2023
Veröffentlichung
22. Oktober 2025
Rechtsraum
EP
IPC
C08F26/06C08F226/06C09G1/02C09K3/14B24B37/04H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Versum Materials US, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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