Kombination von Inline-Metrologie und On-Tool-Metrologie für Fortgeschrittene Verpackung

EP4634726 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4634726
Aktenzeichen: EP23904239
Anmeldetag: 1. November 2023
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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