Lösung zur Entfernung von Rückständen nach der Ätzung (perr)

EP4634964 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: BASF SE 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4634964
Aktenzeichen: EP23821685
Anmeldetag: 13. Dezember 2023
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: BASF SE
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 BASF

Deutscher Chemiekonzern mit Sitz in Ludwigshafen, gegründet 1865. Entwickelt und produziert Chemikalien, Kunststoffe, Agrarprodukte und Materialien für zahlreiche Industriezweige.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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