Verfahren zur Herstellung einer Duv-Photolithographieelektrode und mit Diesem Verfahren Hergestellte Elektrode
EP4634970
Art A1
22. Oktober 2025
Anmelder: ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL) 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP4634970
- Aktenzeichen
- EP23837405
- Anmeldetag
- 11. Dezember 2023
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/28H01L21/18H01L21/027G03F7/00H01J9/02G02B6/136
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ECOLE POLYTECHNIQUE FEDERALE DE LAUSANNE (EPFL)
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
École Polytechnique Fédérale de Lausanne
Schweizer technische Hochschule und Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt auf Ingenieur- und Naturwissenschaften.
1.098 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Byrne, Declan
Onex, Schweiz
193
Patente gesamt
28
Fachgebiete
10
Anmelder-Länder
Schwerpunkte