Verfahren zur Messung einer Rillenform, Vorrichtung zur Messung einer Rillenform, Verfahren zur Steuerung einer Verarbeitungsvorrichtung und Verarbeitungsvorrichtung

EP4635678 Art A1 22. Oktober 2025

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP4635678
Aktenzeichen: EP24756531
Anmeldetag: 15. Januar 2024
Veröffentlichung: 22. Oktober 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B24B49/12B23D1/20B23K26/364B23Q15/00B23Q17/24B24B19/02B24B27/06B24B49/18G01B11/24H01L21/301

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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